TCO材料,即透明导电氧化物材料,具有接近金属的电导率,高可见光透射率和低电阻率,高红外区反射及其它半导体特性,因而广泛应于平板显示器件,太阳能光伏电 池,触摸显示屏,反射热镜,特殊功能窗涂层以及光电子,微电子,真空电子器件等领域。
目前,立承德(NEXTECK)能够提供的TCO材料主要有两大系列:In2O3系和ZnO系.
In2O3系产品主要包括:ITO(氧化铟锡)/ ITiO(氧化铟加氧化钛)/ IMO(加钼氧化铟)/ IGZO(氧化锌镓铟)
ZnO系产品主要包括:AZO(氧化锌铝)/ GZO(氧化锌镓)/ IZO(氧化锌铟)ITO靶材是In2O3和SnO2的混合物.
立承德(NEXTECK)提供的ITO靶材主要有三种:粒状与圆形锭状与筒状,具体指标如下。此外立承德(NEXTECK)还提供ITO粉末(4N)和高纯铟(Indium 99.996%)。
粒状ITO靶材的指标 | 圆形锭状ITO靶材的指标 | 筒状ITO靶材的指标 | |
成分 | In2O3:SnO2 = 90:10 (wt%) | In2O3:SnO2 = 95:5 (wt%) | In2O3:SnO2 = 90:10 (wt%) |
密度 | > 99% | 62 ± 2% | > 99% |
纯度 | 4N (99.99%) | 4N(99.99%) | 4N (99.99%) |
尺寸 | 粒径 8 ~ 15mm | 圆形片直径 25 × 10mmt | 筒状靶直径: 50 - 400mm |
颜色 | 灰黑色 | 灰黑色 | |
阻力系数 | ≤ 0.25 mΩ•cm | ||
包装 | 100g / 袋 | 1 片 / 袋 |
NEXTECK提供的GZO中Ga2O3的含量以0.6%和3%为主,可根据客户要求,提供量身定做服务。
AZO靶材,即铝锌氧化物靶材,是一种导电镀膜材料。AZO 薄膜由于具备材料无毒性、制备温度低、工艺相对简单、易于实现掺杂等特点,被广泛应用到平板显示、太阳能电池、光电器件、防辐射领域等。
GZO靶材是Ga2O3和ZnO的混合物。
AZO靶材的指标 | GZO靶材的指标 | ZnO靶材的指标 | |
成分 | ZnO:Ga2O3 = 99.4:0.6 ± 0.1 (wt%) | ZnO | |
密度 | > 97% | ≥ 99% | ≥ 99.99% |
纯度 | 99.95% | ≥ 99.90% | ≥ 99% |
尺寸 | 平面靶 500*300*20mm (max.) | 平面靶 500*300*20mm (max.) | 平面靶 500*300*20mm (max.) |
颜色 | 灰黑色 | ||
阻力系数 | 5×10- 4 Ω •cm |
立承德( NEXTECK )提供各类纯金属及非金属靶材,合金及化合物靶材,以及各种贵金属靶材,产品广泛运用于溅射薄膜太阳能行业、平面显示行业、装饰和功能镀膜行业、建筑玻璃、汽车玻璃行业等科技领域,竭诚欢迎选购及合作。